旋渦式真空泵是近年來國內(nèi)外備受重視并得到迅速發(fā)展的一種真空泵。渦旋真空泵具有抽氣通道內(nèi)沒有油污染、泵結(jié)構(gòu)簡單、運(yùn)行成本低、工作壽命長、能耗低、運(yùn)行平穩(wěn)、噪音低等特點(diǎn)，得到了真空獲得行業(yè)的歡迎與市場的青睞。而其在設(shè)計(jì)、制造方面較高的技術(shù)含量，也受到國內(nèi)外科技界的廣泛重視。
渦旋的形狀被定義為繞固定的軸心展開直線的軌跡。渦旋上任意一點(diǎn)的迪卡爾坐標(biāo)值如下式所示：X= α*（cosθ+θ*sinθ）Y= α*（sinθ-θ*cosθ）其中常數(shù)α代表軸半徑，θ代表展開角。旋渦式真空泵的渦旋盤付就是一個(gè)一端與平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成的一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動渦旋盤相互交叉組裝在一起，兩者之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180°相位差，這樣結(jié)合組成的一對渦旋盤付構(gòu)成了渦旋真空泵的基本抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線上接觸形成對稱的幾對月牙腔，動渦旋盤在曲軸的驅(qū)動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運(yùn)動，使靜渦旋盤與動渦旋盤的接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣循環(huán)。
例如在雙級渦旋真空泵中，有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的靜渦旋盤，一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤之間的動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運(yùn)動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出，完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。曲軸每轉(zhuǎn)一轉(zhuǎn)，就有一組新的月牙腔形成，所以渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)以近1850轉(zhuǎn)/分的頻率被連續(xù)重復(fù)，對被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。
上個(gè)世紀(jì)后期，真空獲得廠商應(yīng)用渦旋概念與原理制造出了對真空應(yīng)用儀器設(shè)備和環(huán)境沒有污染、抽速、壽命、能耗等指標(biāo)均優(yōu)于普通油真空泵的單級、雙級渦旋真空泵。旋渦式真空泵在需要清潔無油、廉價(jià)和長壽命真空泵的場所被大量應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)了全無油、運(yùn)行平穩(wěn)、噪音低、節(jié)省能源的清潔真空獲得技術(shù)的實(shí)用化。
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